製品
NEMST-Jet2008I series.
アークジェット式大気圧プラズマ洗浄装置（シングルポイント）
- アークジェット（Arc Jet）プラズマ設計
- 複数種類の反応ガスに対応
- エネルギー集中性に優れ、高い処理効果を発揮
- 高速処理が可能
- 処理ギャップ（試料との距離）が大きい
- 単体装置またはインラインモジュール化に対応
- 間接式プラズマ方式
- 各種材料およびさまざまな形状の材料に適用可能
- 反応ガス：CDA（クリーンドライエア）を主とし、その他のガスにも対応可能。
- 反応ガスの消費量が少なく、ランニングコストの低減を実現。
- プラズマ有効処理範囲：Φ10 mm 以下。
- 処理速度：50 mm/sec 〜 300 mm/sec。
- 処理距離（サンプル間）：5 mm 〜 15 mm。
- クイックスタート：0.5秒以下の高速起動。
- プラズマの安定性が極めて高い設計。間接プラズマ方式を採用。
- 静電破壊（ESD）の残留問題がありません。
- 各種材料および、あらゆる形状の材料に対応。
- ディスプレイ・タッチパネル技術： 液晶ディスプレイ（LCD）およびタッチパネルの各種前工程・後工程に適用。
- 精密接合プロセス： LCMにおけるITOリード/フィンガー洗浄（COGまたはCOF工程の前処理）。
- 表面改質・コーティング前処理： 各種材料の貼り合わせ（ボンディング）または塗布の前処理。
- 先端製造プロセス： 薄膜成長（Thin Film Growth）プロセスへの応用。
- 車載・産業実装分野： 車載部品およびSMT（表面実装技術）における表面処理。
- 汎用材料アプリケーション： 各種電子・非電子部品および材料の表面洗浄と表面改質。